Разработка методов и аппаратуры для эллипсометрического контроля параметров полупроводниковых эпитаксиальных структур и диэлектрических покрытий: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зудков, Н. М. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10751580000 | ||
| 005 | 20061229154758.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061229d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка методов и аппаратуры для эллипсометрического контроля параметров полупроводниковых эпитаксиальных структур и диэлектрических покрытий $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 29 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 28-29 (12 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Зудков $b Н. М. $g Николай Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061229 $g psbo |