Исследование и разработка методов повышения плотности компоновки ИС на основе использования в них скрытой высокотемпературной металлизации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ497444СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Золотопуп, А. И.
Опубликовано: Киев , 1984
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr10696520000
005 20061229161502.0
100 # # $a 20061229d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Исследование и разработка методов повышения плотности компоновки ИС на основе использования в них скрытой высокотемпературной металлизации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18) 
210 # # $a Киев  $d 1984 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН УССР. Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Золотопуп  $b А. И.  $g Анатолий Иванович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061229  $g psbo