Моделирование и управление процессами окисления кремния в производстве полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Згуровская, Л. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1983 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10555720000 | ||
| 005 | 20061213155854.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061213d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование и управление процессами окисления кремния в производстве полупроводниковых приборов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.07) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Окт. соц. революции. Библиогр.: с. 15-16 (8 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 62-50 |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Згуровская $b Л. П. $g Людмила Петровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061213 $g psbo |