Ионно-плазменное формирование топологии в микроэлектронике: Учеб. пособие / В.-С. С. Зарецкас, Э. В. Жилинскас, Г. Б. Петраускас
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зарецкас, В. С. |
| Опубликовано: | Вильнюс : Изд.-ред. совет М-ва нар. образования ЛитССР , 1988 |
| Физические характеристики: |
84 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||