|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10458780000 |
| 005 |
20200423151409.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 26 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a LT
$b [89-6914]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20061206d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a LT
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменное формирование топологии в микроэлектронике
$e Учеб. пособие
$f В.-С. С. Зарецкас, Э. В. Жилинскас, Г. Б. Петраускас
$g Ин-т повышения квалификации руководящих работников и специалистов нар. хоз-ва при Совете Министров ЛитССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Вильнюс
$c Изд.-ред. совет М-ва нар. образования ЛитССР
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 84 с.
$c рис.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 84
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плазменная обработка металлов
|
| 610 |
0 |
# |
$a Ионы
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектроника
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.7/9.48.7(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Зарецкас
$b В. С.
$g Винцентас-Саулюс Симонович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061206
$g psbo
|
