Исследование структуры и электрофизических свойств пленок окислов редкоземельных металлов с целью использования их в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (299) / Таганрог. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Заичкин, Н. Н. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1972 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||