|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10325140000 |
| 005 |
20061128165721.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$b [82-70623]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20061128d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Твердофазная эпитаксия кремния
$f В. Г. Заводинский, А. В. Зотов, В. В. Коробцов
|
| 210 |
# |
# |
$a Владивосток
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c черт.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f Ин-т автоматики и процессов упр. с ВЦ ДВНЦ АН СССР
$v № 18 (75)
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 29-30 (22 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.216
|
| 700 |
# |
1 |
$a Заводинский
$b В. Г.
$g Виктор Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061128
$g psbo
|
