Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06 ; 05.13.16) / Моск. ин-т тон. хим. технологии им. М. В. Ломоносова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жук, С. В. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10198860000 | ||
| 005 | 20061120182718.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061120d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06 ; 05.13.16) $f Моск. ин-т тон. хим. технологии им. М. В. Ломоносова |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-18 (11 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.13.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Жук $b С. В. $g Сергей Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061120 $g psbo |