Исследование и разработка технологии ионного легирования для изготовления МДП ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Жеребцов, А. С. |
| Published: | М. , 1978 |
| Physical Description: |
26 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||