Исследование и разработка технологии ионного легирования для изготовления МДП ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Жеребцов, А. С. |
| Veröffentlicht: | М. , 1978 |
| Beschreibung: |
26 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||