|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10115050000 |
| 005 |
20140505092722.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 14 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a SU
$b [84-3429]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20061120d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Элионная технология в производстве тонкопленочных микросхем
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c ЛДНТП
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Сер. «Новое в конструировании и технологии пр-ва радиоэлектрон. аппаратуры»
$f Ленингр. Дом науч.-техн. пропаганды
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 23 (11 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 3300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронно - ионная технология
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы пленочные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Железникова
$b Г. И.
$g Галина Ивановна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061120
$g psbo
|
