Электронная библиотека Национальной библиотеки Беларуси находится в тестовом режиме
Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова. Ч. 1 : Теоретические основы технологии микроэлектроники
