Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова. Ч. 1 : Теоретические основы технологии микроэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок129528,
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 247 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a22000004ib4500
001 BY-NLB-br96771
005 20210430155115.0
020 # # $a ru  $b 94-1488 
100 # # $a 19980210d1993 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Теоретические основы технологии микроэлектроники 
215 # # $a 247 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 243 (16 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br96771G10194  $1 2001   $v Ч. 1 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36795  $a ХИМИЧЕСКАЯ ТЕРМОДИНАМИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36791  $a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36796  $a ХІМІЧНАЯ ТЭРМАДЫНАМІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36792  $a ХІМІЧНЫЯ РЭАКЦЫІ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.77.002:54  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980210  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo