Лабораторный практикум по курсу "Химия в микроэлектронике": Метод. указания / В.З.Петрова, Н.А.Ханова, В.И.Гребенькова, Р.Ф.Шутова

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок125860,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МГИЭТ , 1993
Физические характеристики: 138 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br94524
005 20210429160550.0
010 # # $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-1591 
100 # # $a 19971223d1993 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a gb 
200 1 # $a Лабораторный практикум по курсу "Химия в микроэлектронике"  $e Метод. указания  $f В.З.Петрова, Н.А.Ханова, В.И.Гребенькова, Р.Ф.Шутова  $g Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) 
210 # # $a М.  $c МГИЭТ  $d 1993 
215 # # $a 138 с. 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36791  $a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36792  $a ХІМІЧНЫЯ РЭАКЦЫІ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2281534  $a ПРАКТИКУМ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.77.002:54(076.5)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-182254  $a Петрова  $b В. З. 
701 # 1 $3 BY-SEK-182255  $a Ханова  $b Н. А. 
701 # 1 $3 BY-SEK-182256  $a Гребенькова  $b В. И. 
701 # 1 $3 BY-SEK-182257  $a Шутова  $b Р. Ф. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971223  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo