|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
001 |
BY-NLB-br91926 |
005 |
20210331195340.0 |
010 |
# |
# |
$a 5-230-10302-7
$d Б.ц.
|
020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-31361
|
100 |
# |
# |
$a 19971120d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ga
|
200 |
1 |
# |
$a Физико-химические основы микроэлектроники
$e Свойства тонких пленок
$e Учеб. пособие
$f В.Г.Нефедов, Ю.С.Кулешов, О.Б.Гусев
$g С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения
|
210 |
# |
# |
$a СПб.
$c СПбГААП
$d 1993
|
215 |
# |
# |
$a 50 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 49 (5 назв.).
|
345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1(075.8)
$v 3
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-247929
$a Кулешов
$b Ю. С.
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-282274
$a Гусев
$b О. Б.
|
702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-282275
$a Нефедов
$b В. Г.
$g Вячеслав Григорьевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19971120
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|