Физико-химические основы микроэлектроники: Свойства тонких пленок: Учеб. пособие / В.Г.Нефедов, Ю.С.Кулешов, О.Б.Гусев

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок122827,
Вид документа: Книги
Опубликовано: СПб. : СПбГААП , 1993
Физические характеристики: 50 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br91926
005 20210331195340.0
010 # # $a 5-230-10302-7  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-31361 
100 # # $a 19971120d1993 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Физико-химические основы микроэлектроники  $e Свойства тонких пленок  $e Учеб. пособие  $f В.Г.Нефедов, Ю.С.Кулешов, О.Б.Гусев  $g С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения 
210 # # $a СПб.  $c СПбГААП  $d 1993 
215 # # $a 50 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 49 (5 назв.). 
345 # # $9 150 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.772.1(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-247929  $a Кулешов  $b Ю. С. 
701 # 1 $3 BY-SEK-282274  $a Гусев  $b О. Б. 
702 # 1 $3 BY-SEK-282275  $a Нефедов  $b В. Г.  $g Вячеслав Григорьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971120  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo