Технология и автоматизация производства полупроводниковых приборов и интегральных схем

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок120602,
Вид документа: Книги
Автор: Вербицкий, О. Г.
Опубликовано: М. : Изд-во Моск. гос. открытого ун-та , 1994
Физические характеристики: 120 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br90264
005 20210331194451.0
010 # # $a 5-7045-0398-5  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 95-2499 
100 # # $a 19971021d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Технология и автоматизация производства полупроводниковых приборов и интегральных схем 
210 # # $a М.  $c Изд-во Моск. гос. открытого ун-та  $d 1994 
215 # # $a 120 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 120. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1563  $a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1564  $a АЎТАМАТЫЗАВАНЫЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.002(075.8)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77.002(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-280222  $a Вербицкий  $b О. Г.  $g Олег Германович 
701 # 1 $3 BY-SEK-280223  $a Кротов  $b И. И.  $g Иван Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971021  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo