Влияние деформаций на изменение структуры поверхности кремния при облучении ионами 86 Kr с энергией 253 МэB / Л. А. Власукова [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок512933,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Дубна : ОИЯИ , 2006
Физические характеристики: 6, [2] с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Препринт Р14-2006-25
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br868414
005 20220506122545.0
100 # # $a 20061130d2006 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Влияние деформаций на изменение структуры поверхности кремния при облучении ионами 86 Kr с энергией 253 МэB  $f Л. А. Власукова [и др.] 
210 # # $a Дубна  $c ОИЯИ  $d 2006 
215 # # $a 6, [2] с.  $c ил.  $d 22 см 
225 1 # $a Препринт  $f Объединенный институт ядерных исследований  $v Р14-2006-25 
320 # # $a Библиография: с. 6–7 (14 назв.) 
345 # # $9 290 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39999  $a ЯДЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
675 # # $a 539.1.07  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.211  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.15.39  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $v 5  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-327240  $a Власукова  $b Л. А.  $g Людмила Александровна  $c кандидат физико-математических наук, физик  $f род. 1950 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061130  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061210  $g psbo