Особенности концентрационных профилей при неизотермической диффузии в полупроводниках: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Овчаров Владимир Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад178240,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Овчаров, В. В.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 27 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br863659
005 20070615152737.9
100 # # $a 20061114d2006 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Особенности концентрационных профилей при неизотермической диффузии в полупроводниках  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Овчаров Владимир Викторович  $g [Институт микроэлектроники и информатики РАН (г. Ярославль)] 
210 # # $a Москва  $d 2006 
215 # # $a 27 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиография: с. 25-27 (17 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33594  $a ТЕРМОДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52878  $a ФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33595  $a ТЭРМАДЫФУЗІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52879  $a ФІЗІЧНЫЯ ХАРАКТАРЫСТЫКІ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.09  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-126533  $a Овчаров  $b В. В.  $g Владимир Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061114  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070103  $g psbo