Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: 07.12.2006 / Васюков Александр Всеволодович
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Васюков, А. В. |
Published: | Минск , 2006 |
Physical Description: |
21 с. : ил.
|
Language: | Russian |
Subjects: | |
E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|