|
|
|
|
|
00000cam2a2200000 ib4500 |
001 |
BY-NLB-br857477 |
005 |
20180726110215.0 |
010 |
# |
# |
$a 985-6564-29-8
$b в переплете
|
100 |
# |
# |
$a 20061024d2001 u y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
0 |
# |
$a Т. 2
$f под общей редакцией А. П. Достанко
|
210 |
# |
# |
$d 2001
|
215 |
# |
# |
$a 242, [1] с.
$c ил., табл.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
345 |
# |
# |
$9 350 экз.
|
461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br330651G19391
$1 2000
$v Т. 2
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39077
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22115
$a АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19559
$a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12169
$a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34343
$a ТРАЎЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793.74
$v 3
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f род. 1937
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2634921
$a Бордусов
$b С. В.
$g Сергей Валентинович
$c доктор технических наук
$f род. 1955
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637784
$a Свадковский
$b И. В.
$g Игорь Витальевич
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar161314
$a Кундас
$b С. П.
$g Семен Петрович
$c доктор технических наук
$f 1953—2020
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-688094
$a Босяков
$b М. Н.
$g Михаил Никифорович
$c кандидат физико-математических наук
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495368
$a Ануфриев
$b Л. П.
$g Леонид Петрович
$c доктор технических наук
$f род. 1945
|
701 |
# |
1 |
$a Lugscheider
$b E.
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061024
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061208
$g psbo
|