Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 2 / под общей редакцией А. П. Достанко

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба503887, 1Ба503889,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 2001
Физические характеристики: 242, [1] с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br857477
005 20180726110215.0
010 # # $a 985-6564-29-8  $b в переплете 
100 # # $a 20061024d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 0 # $a Т. 2  $f под общей редакцией А. П. Достанко 
210 # # $d 2001 
215 # # $a 242, [1] с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 350 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br330651G19391  $1 2000   $v Т. 2 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34342  $a ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18375  $a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39077  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22115  $a АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34343  $a ТРАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793.74  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f род. 1937 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2634921  $a Бордусов  $b С. В.  $g Сергей Валентинович  $c доктор технических наук  $f род. 1955 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2637784  $a Свадковский  $b И. В.  $g Игорь Витальевич 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar161314  $a Кундас  $b С. П.  $g Семен Петрович  $c доктор технических наук  $f 1953—2020 
701 # 1 $3 BY-SEK-688094  $a Босяков  $b М. Н.  $g Михаил Никифорович  $c кандидат физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $a Lugscheider  $b E. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061024  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061208  $g psbo