Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 / Котляров Юрий Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад170985,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Котляров, Ю. В.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ШЛИФОВАНИЕ
ПОЛИРОВАНИЕ
АЛМАЗНЫЙ ИНСТРУМЕНТ
АБРАЗИВНЫЙ ИНСТРУМЕНТ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
КРЕМНИЙ
АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
САПФИРЫ
ОПТАЭЛЕКТРОНІКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ШЛІФАВАННЕ
ПАЛІРАВАННЕ
АЛМАЗНЫ ІНСТРУМЕНТ
АБРАЗІЎНЫ ІНСТРУМЕНТ
ПАДЛОЖКІ (электроніка)
КРЭМНІЙ
АРСЕНІД ГАЛІЮ
САПФІРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br843930
005 20220412164500.0
100 # # $a 20060912d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.14  $f Котляров Юрий Владимирович  $g [Московский государственный университет приборостроения и информатики] 
210 # # $a Москва  $d 2006 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиография: с. 18-19 (15 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21873  $a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38158  $a ШЛИФОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24383  $a ПОЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60896  $a АЛМАЗНЫЙ ИНСТРУМЕНТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54539  $a АБРАЗИВНЫЙ ИНСТРУМЕНТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326536  $a САПФИРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21874  $a ОПТАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33875  $a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38159  $a ШЛІФАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24384  $a ПАЛІРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60897  $a АЛМАЗНЫ ІНСТРУМЕНТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54540  $a АБРАЗІЎНЫ ІНСТРУМЕНТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6883  $a АРСЕНІД ГАЛІЮ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326555  $a САПФІРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 55.19.05  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-690916  $a Котляров  $b Ю. В.  $g Юрий Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060912  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061210  $g psbo 

Схожие документы