Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Бойко Антон Николаевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Бойко, А. Н. |
| Publicado: | Москва , 2006 |
| Descripción Física: |
23 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||