|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br827698 |
| 005 |
20070615184550.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060626d2006 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Бойко Антон Николаевич
$g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22-23 (10 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14454
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18377
$a МІКРАЭЛЕКТРОННЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14455
$a КАНСТРУКТЫЎНЫЯ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-683862
$a Бойко
$b А. Н.
$g Антон Николаевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060626
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061110
$g psbo
|
