
Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Залкинд Яков Григорьевич
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Залкинд, Я. Г. |
Wydane: | М. , [2005 ?] |
Opis fizyczny: |
26 с.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|