|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br804756 |
| 005 |
20070615184059.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060309d2005 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Залкинд Яков Григорьевич
$g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d [2005 ?]
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25-26.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35855
$a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18297
$a МІКРАСІСТЭМНАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18307
$a МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35856
$a ФІЗІКА-МЕХАНІЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-145038
$a Залкинд
$b Я. Г.
$g Яков Григорьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060309
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
