Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Орлов Олег Михайлович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Орлов, О. М. |
| Published: | Москва , 2005 |
| Physical Description: |
39 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||