Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Орлов Олег Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД153021,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Орлов, О. М.
Опубликовано: Москва , 2005
Физические характеристики: 39 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br797824
005 20070615165901.1
100 # # $a 20060208d2005 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Орлов Олег Михайлович  $g [НИИМЭ и МИКРОН] 
210 # # $a Москва  $d 2005 
215 # # $a 39 с. 
300 # # $a Библиография: с. 35-39 (34 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34408  $a ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24309  $a ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34409  $a ТРАНЗІСТАРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24310  $a ПАЛЯВЫЯ ТРАНЗІСТАРЫ  $2 DVNLB 
607 # # $3 BY-NLB-ar28572  $a Россия 
607 # # $3 BY-NLB-ar28573  $a Расія 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-382530  $a Орлов  $b О. М.  $g Олег Михайлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060208  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo