|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br794133 |
| 005 |
20070615165800.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060123d2005 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.17.01
$f Кох Александр Аркадьевич
$g [Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ФГУП "ГИРЕДМЕТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23-24 (11 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33920
$a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22462
$a ОЧИСТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24589
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21955
$a ОРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21956
$a АРГАНІЧНЫЯ ЗЛУЧЭННІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33921
$a ТЭХНАЛОГІЯ МАТЭРЫЯЛАЎ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22463
$a АЧЫСТКА
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Трихлорсилан
|
| 610 |
0 |
# |
$a Хлорсилан
|
| 610 |
0 |
# |
$a Трыхлорсілан
|
| 610 |
0 |
# |
$a Хлорсілан
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.47
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.17.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-379991
$a Кох
$b А. А.
$g Александр Аркадьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060123
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
