Очистка и выращивание монокристаллов кристаллизацией из расплава, получение эпитаксиальных пленок, ионная имплантация : Лаб. практикум по курсу "Технология и методы исслед. структур полупроводниковых материалов" : Учеб. пособие для студентов / Н. К. Морозова, В. А. Дмитриев. Ч. 1
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1992 |
| Физические характеристики: |
51 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка