Синтез эпитаксиальных слоев в системе GaN/AlGaN методом хлоридгидридной газофазной эпитаксии и формирование гетероструктур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: 02.00.21 / Фомин Александр Владимирович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Фомин, А. В. |
| Published: | Санкт-Петербург , 2005 |
| Physical Description: |
14 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||