|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br764804 |
| 005 |
20220414180335.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-343-00540-3
$d 1 р. 40 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20051018d1990 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
$f Н. В. Румак, В. В. Хатько
$g под редакцией В. Е. Борисенко
$g Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Навука і тэхніка
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 190, [1] с.
$c ил., табл.
$d 20 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 181―189 (225 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1450 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32976
$a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3353229
$a МДП-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2722583
$a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15100
$a ДИОКСИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20812
$a НИТРИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1733874
$a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar57360
$a СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2726715
$a ПАССИВИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14/.16-027.3:621.793:621.315.61
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.2-027.3:621.793:621.315.61
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.232
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-178732
$a Румак
$b Н. В.
$g Николай Владимирович
$c доктор технических наук
$f 1941—1995
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-376953
$a Хатько
$b В. В.
$g Вячеслав Владимирович
$c доктор физико-математических наук
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-203658
$a Борисенко
$b В. Е.
$g Виктор Евгеньевич
$c доктор физико-математических наук, физик
$f род. 1951
$4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar198721
$a Физико-технический институт
$c Минск
$4 570
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051018
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
