|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br760230 |
| 005 |
20210120152255.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051004d2004 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических систем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Пурцхванидзе Ираклий Андреевич
$g [Государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 31-32.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6891565
$a МИКРОФЛЮИДНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38994
$a ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar57232
$a Российская Федерация
$2 BY-auth
|
| 660 |
# |
# |
$a e-ru
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-653433
$a Пурцхванидзе
$b И. А.
$g Ираклий Андреевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051004
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
