Исследование физических процессов ионного отщепления ("Smart-Cut") оптическими методами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Бударагин Владимир Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД139783,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бударагин, В. В.
Опубликовано: Москва , 2004
Физические характеристики: 26 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br756966
005 20160322100312.0
100 # # $a 20050923d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование физических процессов ионного отщепления ("Smart-Cut") оптическими методами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Бударагин Владимир Владимирович  $g Российский научный центр "Курчатовский институт" 
210 # # $a Москва  $d 2004 
215 # # $a 26 с. 
300 # # $a Библиография: с. 24-26. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21841  $a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83954  $a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21842  $a АПТЫЧНЫЯ МЕТАДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8165347  $a БЛИСТЕРИНГ  $2 DVNLB 
610 0 # $a ИОННОЕ ОТЩЕПЛЕНИЕ 
610 0 # $a ІОННАЕ АДШЧАПЛЕННЕ 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-654533  $a Бударагин  $b В. В.  $g Владимир Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050923  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo