Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 03.06.04: утверждена 13.10.04: 05.27.06 / Молодечкина Татьяна Викторовна

Сохранено в:
Шифр документа: 26АД6056,
Вид документа: Диссертации
Автор: Молодечкина, Т. В. (род. 1963)
Опубликовано: Минск , 2004
Физические характеристики: 149, [2] л.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br745866
005 20230704121435.0
100 # # $a 20050815d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e защищена 03.06.04  $e утверждена 13.10.04  $e 05.27.06  $f Молодечкина Татьяна Викторовна 
210 # # $a Минск  $d 2004 
215 # # $a 149, [2] л. 
300 # # $a Библиография: л. 139-148 (150 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34165  $a ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39132  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34004  $a ТИТАН (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21603  $a ОКСИДЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002.3(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-526538  $a Молодечкина  $b Т. В.  $g Татьяна Викторовна  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1963 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050815  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br745866&fileID=1605581