Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ануфриева Ирина Викторовна
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Ануфриева, И. В. |
| Publié: | Москва , 2004 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||