Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ануфриева Ирина Викторовна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Ануфриева, И. В. |
| Published: | Москва , 2004 |
| Physical Description: |
20 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||