Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ануфриева Ирина Викторовна
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Ануфриева, И. В. |
| Апублікавана: | Москва , 2004 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||