Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ануфриева Ирина Викторовна

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД135077,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ануфриева, И. В.
Опубликовано: Москва , 2004
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br735890
005 20210811161649.0
100 # # $a 20050704d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Ануфриева Ирина Викторовна  $g [НИИВТ им. С.А.Векшинского] 
210 # # $a Москва  $d 2004 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиография: с. 19-20 (9 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4863  $a ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4867  $a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19808  $a НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38754  $a ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-646593  $a Ануфриева  $b И. В.  $g Ирина Викторовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050704  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo