Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Паутов Илья Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Паутов, И. Ю. |
| Опубликовано: | Рыбинск , 2004 |
| Физические характеристики: |
16 c.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||