Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированнного сплава кремния с углеродом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Артемов Евгений Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД134974,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Артемов, Е. И.
Опубликовано: Москва , 2004
Физические характеристики: 22 c.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
АМОРФНЫЕ СПЛАВЫ
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
АМОРФНЫЯ СПЛАВЫ
ГІДРАГЕНІЗАЦЫЯ
МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)
ОПТАЭЛЕКТРОНІКА
ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br735613
005 20220415122054.0
100 # # $a 20050704d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированнного сплава кремния с углеродом  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Артемов Евгений Иванович  $g [Московский государственный институт электронной техники] 
210 # # $a Москва  $d 2004 
215 # # $a 22 c. 
300 # # $a Библиография: c. 19-22 (19 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar74899  $a АМОРФНЫЕ СПЛАВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21873  $a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17343  $a ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar74900  $a АМОРФНЫЯ СПЛАВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7481  $a ГІДРАГЕНІЗАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18307  $a МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21874  $a ОПТАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7480  $a ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18378  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-646054  $a Артемов  $b Е. И.  $g Евгений Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050704  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo 

Схожие документы