Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.13 ; 05.02.02 / Терехин Николай Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад133131,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Терехин, Н. А.
Опубликовано: Красноярск , 2004
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br729392
005 20070615192743.7
100 # # $a 20050613d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.02.13 ; 05.02.02  $f Терехин Николай Александрович  $g [Научно-исследовательский институт ситем управления, волновых процессов и технологий, ФГУП "Красмашзавод" г. Красноярск] 
210 # # $a Красноярск  $d 2004 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиография: с. 20-22 (18 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28579  $a РОСТ КРЫШТАЛЁЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6560  $a ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6561  $a ВЫСОКАПРАДУКЦЫЙНЫЯ ВЫЛІЧАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.13  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.02.13  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.02.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-641510  $a Терехин  $b Н. А.  $g Николай Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050613  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo