Совершенствование создания тонкопленочных микроэлектронных преобразователей и методов их технологического контроля: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.11.01 / Власов Геннадий Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Власов, Г. С. (род. 1946) |
| Опубликовано: | Пенза , 2004 |
| Физические характеристики: |
46 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||