Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.04 / Рычков Дмитрий Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад131278,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Рычков, Д. С.
Опубликовано: Томск , 2004
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br725000
005 20070615192703.1
100 # # $a 20050601d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 01.04.04  $f Рычков Дмитрий Сергеевич  $g [Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете] 
210 # # $a Томск  $d 2004 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиография: с. 16-19. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23641  $a ПЛАЗМА (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23642  $a ПЛАЗМА (фіз.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31445  $a СПЕКТРАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17292  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9549  $a ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЕ УРАВНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31446  $a СПЕКТРАЛЬНЫ АНАЛІЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17293  $a МАТЭМАТЫЧНЫ АНАЛІЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9550  $a ДЫФЕРЭНЦЫЯЛЬНЫЯ ЎРАЎНЕННІ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.35  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-597342  $a Рычков  $b Д. С.  $g Дмитрий Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050601  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo