Формирование нарушенных слоев в кристаллах кремния, имплантированных протонами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Дьячкова Ирина Геннадьевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дьячкова, И. Г. |
| Опубликовано: | Москва , 2004 |
| Физические характеристики: |
23 c.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||