Формирование нарушенных слоев в кристаллах кремния, имплантированных протонами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Дьячкова Ирина Геннадьевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад131005,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дьячкова, И. Г.
Опубликовано: Москва , 2004
Физические характеристики: 23 c.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br724388
005 20130829160257.0
100 # # $a 20050531d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Формирование нарушенных слоев в кристаллах кремния, имплантированных протонами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Дьячкова Ирина Геннадьевна  $g [Московский государственный институт электроники и математики] 
210 # # $a Москва  $d 2004 
215 # # $a 23 c. 
300 # # $a Библиография: c. 21-23 (18 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83954  $a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-596174  $a Дьячкова  $b И. Г.  $g Ирина Геннадьевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050531  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo