|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br721200 |
| 005 |
20070615192646.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050523d2004 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Болесов Игорь Анатольевич
$g [Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М.В.Ломоносова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22 (5 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36384
$a ФОТОДИОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24593
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36385
$a ФОТАДЫЁДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-595517
$a Болесов
$b И. А.
$g Игорь Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050523
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
