Процессы на поверхности кремния при низкоэнергетическом ионном воздействии в условиях молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Зиновьев Владимир Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад126983,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Зиновьев, В. А.
Опубликовано: Новосибирск , 2004
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br712483
005 20200910091910.0
100 # # $a 20050426d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Процессы на поверхности кремния при низкоэнергетическом ионном воздействии в условиях молекулярно-лучевой эпитаксии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Зиновьев Владимир Анатольевич  $g [Институт физики полупроводников СО РАН] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2004 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиография: с. 19-21. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14264  $a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12180  $a ИОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23916  $a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12170  $a ИОННОЕ ВОЗБУЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-591910  $a Зиновьев  $b В. А.  $g Владимир Анатольевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050426  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo