Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.13.18 / Желтухин Виктор Семенович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад126163,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Желтухин, В. С. (род. 1956)
Опубликовано: Москва , 2004
Физические характеристики: 31 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br709846
005 20070615192536.2
100 # # $a 20050418d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e 05.13.18  $f Желтухин Виктор Семенович  $g [Казанский государственный технологический университет] 
210 # # $a Москва  $d 2004 
215 # # $a 31 с. 
300 # # $a Библиография: c. 26-31 (54 названия). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6590  $a ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23665  $a ПЛАЗМОТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23656  $a ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6591  $a ВЫСОКАЧАСТОТНЫЯ РАЗРАДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113382  $a МАТЭМАТЫЧНАЕ МАДЭЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23666  $a ПЛАЗМАТРОНЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.31.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.13.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-588448  $a Желтухин  $b В. С.  $g Виктор Семенович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1956 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050418  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo