Исследование и применение методов идентификации и оптимизации в задаче управляемого вакуумного напыления: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.01 / Иванов Леонид Леонидович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад121529,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Иванов, Л. Л.
Опубликовано: М. , 2003
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br694715
005 20090805124437.0
100 # # $a 20050309d2003 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование и применение методов идентификации и оптимизации в задаче управляемого вакуумного напыления  $e автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.13.01  $f Иванов Леонид Леонидович  $g [Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э.Баумана] 
210 # # $a М.  $d 2003 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2371384  $a СИСТЕМНЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19585  $a НАПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67567  $a НАНАТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55090  $a АСК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1586  $a АЎТАМАТЫЧНЫЯ СІСТЭМЫ КАНТРОЛЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45118  $a НАНАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2371385  $a СІСТЭМНЫ АНАЛІЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19584  $a НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67566  $a НАНОТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55089  $a АСУ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 55.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.47  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 28.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.13.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar3260522  $a Иванов  $b Л. Л.  $g Леонид Леонидович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050309  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo