Радиационно-термическое окисление монокристаллического кремния: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук.: 02.00.09 / Соловейчик Алексей Валерьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Соловейчик, А. В. |
| Опубликовано: | СПб. , 2003. |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||